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ハンドリング装置100の制御部101は、ハンドリングユニット10や上記圧力調整器P1,P2及び開閉弁V1,V2とともに、各所の駆動部M1、M2、・・・、Mn(nは2以上の自然数)を制御する。制御部101は、上記圧力調整器P1,P2に制御信号Rp1,Rp2を出力することによって流体の供給圧や排気圧を制御する。また、制御部101は、開閉弁V1,V2に制御信号Rv1,Rv2を出力することによって流体の供給と停止、排気の開始と終了を制御する。さらに、制御部101は、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnに設置された位置検出器からの検出信号Sm1,Sm2,・・・,Smnを受けるとともに、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnに対して制御信号Rm1,Rm2,・・・,Rmnを出力して、それらの作動状態を制御する。なお、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnには、例えば、ハンドリングユニット10の位置及び姿勢を制御するための、1又は複数のロボットアームの駆動機構などといったユニット駆動系が含まれる。

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尚、本発明の方法及び装置は、上述の図示例のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記各実施形態では、それぞれ他の実施形態と異なる構成を有するが、各実施形態の構成は、相互に支障を生じない限り、相互に置換したり、相互に組み合わせたりして、種々に採用し、任意の組み合わせで構成することが可能である。また、上記実施形態において、各ハンドリングユニットは、ハンドリング装置のユニット駆動系によって任意の位置及び姿勢に制御できることを前提として構成されているが、例えば、ハンドリングユニット内に、コレット、ハウジング及び作動体の軸線周りの回動機構を組み込むなど、付加的な機能を与えることも可能である。

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さらに、本実施形態では、コレット11がハウジング12内の軸線方向の既定の範囲で移動可能に構成されるため、ハンドリングユニット10が把持対象物へ向けてアクセスする際において、ハンドリングユニット10の位置制御不良、把持対象物の配置不良・形状不良などによってフィンガー部11cが外部との間で異常な干渉を生じた場合でも、軸線10xに沿った軸線方向基端側への後退によってコレット11の損傷を回避することができる。また、その回避動作によっても、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造によってコレット11の軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢は保持されるため、その後の作動精度が低下する虞はない。

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通気口22qへエアなどの流体を供給し、軸孔21x内から外部へ流体を噴出させることにより、コレット21の内部に紛れ込んだ粉塵やフィンガー部21cの把持面21g上に付着した塵埃などを吹き飛ばし、各所を清浄化することができる。また、通気口22qと軸孔21xを介して吸引を行うことによって、フィンガー部21cの内側へ把持対象物を吸引して、既定の把持位置まで把持対象物を引き込んだり、吸引力そのものによって把持対象物を保持したりすることができる。ここで、上記吸引力を増大させるために、上記スリット11sに相当するスリット21sの内部にシリコーン樹脂などの変形容易なシール材を配置し、把持対象物が複数のフィンガー部21cの各把持面21gによって把持されたとき、コレット21の内部が外部とほとんど連通しなくなるように構成してもよい。

前記筒体の内部に隙間を有して収容され、先端部が前記筒体の先端より突出している内側の軸体と、

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コレット11は、軸線方向の一部を構成する基準部11aを有する。基準部11aは、図示例では、後述する作動体13の内面に対して軸線10xに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部11aは、軸線10xに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部11aの軸線10xの方向の先端側(図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。)には、複数の弾性変形部11bが接続される。弾性変形部11bは、上記基準部11aよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部11bは、基準部11aより薄肉であり、かつ、軸線10xの周りの周方向にスリット11sにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線10xの周りに3つの弾性変形部11bが、軸線10xの周りに3回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット11の軸線10xに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔11xとなっている。

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